Технологията за микрообработка е много гъвкав процес, който може да произвежда микро компоненти със сложни форми. Освен това може да се прилага към широка гама от материали. Неговата адаптивност го прави особено подходящ за бърза работа от идея до прототип, производство на сложни 3D структури и итеративен дизайн и разработка на продукти,
1. Технология за физическа микрообработка
Обработка с лазерен лъч: процес на обработка, който използва топлинната енергия, насочвана от лазерния лъч, за отстраняване на материали от метални или неметални повърхности. Той е по-подходящ за крехки материали с ниска проводимост, но може да се използва за повечето материали.
Обработка с йонен лъч: важна нетрадиционна производствена технология за микро/нано производство. Той използва ускорения йонен поток във вакуумната камера, за да премахне, добави или модифицира атомите на повърхността на обекта.
2. Технология на химическата микрообработка
Реактивно йонно ецване (RIE): плазмен процес, при който веществата се възбуждат от RF разряд за ецване на субстрати или филми в камера с ниско напрежение. Това е синергичен процес на химически активни вещества и високоенергийно йонно бомбардиране.
Електрохимична обработка (ECM): метод за отстраняване на метали чрез електрохимични процеси. Обикновено се използва за мащабно производство и обработка на изключително твърди материали или материали, които трудно се обработват по традиционните методи. Използването му е ограничено до проводими материали. ECM може да изрязва малки или неправилни ъгли, сложни контури или кухини в твърди и редки метали.
3. Механична микромашинна технология
Диамантено струговане: процес на струговане или машинна обработка на прецизни компоненти със струг или производна машина, оборудвана с накрайник от естествен или синтетичен диамант.
Диамантено фрезоване: процес на рязане, който може да се използва за генериране на асферичен масив от лещи чрез кръгово рязане с помощта на сферичен диамантен инструмент.
Прецизно шлайфане: абразивна обработка, която позволява детайлът да бъде обработен с фина повърхност и много близък толеранс от 0.0001 ".
Полиране: абразивна обработка, полирането с аргонов йонен лъч е доста стабилен процес, който се използва за довършване на огледала на телескопи и коригиране на остатъчни грешки при механично полиране или оптични устройства за въртене на диамант. MRF процесът е първият детерминиран процес на полиране. Комерсиализиран и използван в производството на асферични лещи, рефлектори и др.
