Разработването на свръхпрецизни металорежещи машини е важна предпоставка за развитието на свръхпрецизната обработка. През последните години развитите страни успешно разработиха различни усъвършенствани ултрапрецизни машинни инструменти. Посоката на развитие на ултра-прецизните металорежещи машини е по-нататъшно подобряване на точността на ултра-прецизните металорежещи машини, разработване на широкомащабни ултра-прецизни металорежещи машини и разработване на многофункционални и високоефективни ултра-прецизни машини със специално предназначение.
Съединените щати, Великобритания, Германия и други страни започнаха да произвеждат свръхпрецизни металорежещи машини през 70-те години (Япония през 80-те години) и могат да ги доставят на партиди. По отношение на широкомащабни ултрапрецизни машинни инструменти, Националната лаборатория LLL в Съединените щати успешно разработи два широкомащабни ултрапрецизни диамантени струга през 1986 г.: единият е хоризонтален DTM-3 диамантен струг с диаметър на обработка от 2,1м, а другият е с диаметър на обработка 1,65м. Вертикалният голям оптичен диамантен струг LODTM. Сред тях вертикалният голям оптичен диамантен струг LODTM е признат за ултрапрецизния машинен инструмент с най-висока прецизност в света. Съединените щати по-късно разработиха широкомащабна 6-осова CNC прецизна шлифовъчна машина за прецизно шлифоване на големи оптични огледала.
Британският Cranfield Precision Machining Center успешно разработи многофункционалната трикоординатна CNC шлифовъчна машина OAGM-2500 през 1991 г. (площ на масата 2500 mm × 2500 mm), която може да обработва (шлайфане, струговане) и измерва прецизни повърхности със свободна форма. Машината използва метода за снаждане на детайли и може също да обработва големи огледала с диаметър 7,5 m в астрономически телескопи.
Японските многофункционални и високоефективни ултрапрецизни машинни инструменти със специално предназначение се развиха бързо, което изигра добра роля в насърчаването на развитието на японската индустрия за микроелектроника и домакински уреди.